在電子廠電子元件的生產中，室內的微粒子對產品的質量影響極大。所以在電子元件的生產過程中需要嚴格控制微粒子的數量，遵循“不攜入、不發生、不儲備、除去“四大基本原則防止微粒子。使用高性能的過濾器可使浮游微粒子濃度達到零水平，實際生產現場可能會受到作業人員、機器、周邊器械的發塵及基板運送所接觸到的零材料的發塵等，在制造品周圍揚起少許微塵子，因而造成元件清潔的粒子污染。

  為了確保作業人員不將微粒子攜入到潔凈車間

  1.作業人員進入潔凈車間前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

  2.機器及材料帶進凈化車間前，應盡可能在密封狀態下帶進潔凈車間前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入凈化車間；

  3.進入凈化車間者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等；

  4.通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入潔凈車間。潔凈車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  在控制最大的污染源-人在潔凈車間產生的微粒子的發塵量，還要控制第二大污染源-機器以及物品移動、接觸、剝離造成的發塵量。

  控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在凈化車間內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

  要求最嚴格的最高等級的凈化車間，天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除，從而長時間漂流在潔凈車間內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。 

  在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓潔凈車間內產生微粒子，直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向凈化車間外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車間內之對策。